MOQ: | 1kg |
価格: | US $50kg |
標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
配達期間: | 15日 |
支払方法: | L/C,T/T |
供給能力: | 5000トン/年 |
窒素 三 フロア 化 (NF3) は,三 フロア 原子 に 結合 し て いる 一 つの 窒素 原子 から 成る 化学 化合物 です.窒素 三 フロア 化 に 関する 重要な 点 は 次 の よう です.
属性:窒素三フロリドは,室温および圧力で無色で無臭のガスである.分子式はNF3であり,分子重量は71.0g/molである.NF3は安定した化合物であり,金属や水などの一般的な物質と容易に反応しない..
生産:窒素三フロリドは主にアンモニア (NH3) とフッ素ガス (F2) の反応によって生成される.反応は,触媒の存在と高温で起こります他の生産方法は,窒素ガス (N2) をフッ素と反応させたり,窒素酸化物化合物を直接フッ素化させたりする.
応用:窒素三フッ化物は,いくつかの産業用用途があります.
半導体産業:NF3は,半導体製造産業で,プロセス機器から酸化チリウムおよび他の汚染物質を除去するための清掃剤として広く使用されています.これは,プラズマエッチングプロセスで残留シリコンベースのフィルムを除去するのに特に効果的です..
LCDと薄膜太陽光パネルの製造:窒素三フッ化物は液晶ディスプレイ (LCD) パネルと薄膜太陽光パネルの製造に使用されます.汚れを除去し,表面やフィルムの質を確保するために清掃ガスとして使用されます..
化学工業:NF3は,有機フッ素化合物の合成などの様々な化学反応においてフッ素化剤として使用される.
環境への影響:窒素三フッ化物は,強力な温室効果ガスと考えられています.高温度の地球温暖化潜在力 (GWP) と長い大気寿命があります.NF3の排出量は,産業における使用拡大により増加していますNF3の排出量を削減し,処理と廃棄を改善するために努力しています.
安全性: 窒素三フッ化物は 有毒で腐食性の高いガスで,注意深く取り扱い,適切な安全対策を講じなければならない.適切な保護装置と換気システムの使用を含む.. NF3は直接接触または吸入すると目,皮膚,呼吸器系に重篤な火傷を引き起こす可能性があります.
基本情報
輸送パッケージ: | 47L 440L | 溶融点 | -206.79°C |
商標: | CMC | 沸点 | -129.0°C |
仕様 | 99.99%,99.996% | 生産能力 | 5000 m3/年 |
シリンダー圧 | 15MPa/20MPa | バルブ | ディス640 |
外見 | 色 や 匂い が ない | 密度 | 2.96kg/m3 |
仕様:
仕様 | 会社基準 |
NF3 | ≥99.996% |
CF4 | ≤20ppm |
N2 | ≤5ppm |
O2+AR | ≤3ppm |
CO | ≤1ppm |
CO2 | ≤0.5ppm |
N2O | ≤1ppm |
SF6 | ≤2ppm |
湿度 | ≤1ppm |
HF として表す | ≤1ppm |
詳細な写真
MOQ: | 1kg |
価格: | US $50kg |
標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
配達期間: | 15日 |
支払方法: | L/C,T/T |
供給能力: | 5000トン/年 |
窒素 三 フロア 化 (NF3) は,三 フロア 原子 に 結合 し て いる 一 つの 窒素 原子 から 成る 化学 化合物 です.窒素 三 フロア 化 に 関する 重要な 点 は 次 の よう です.
属性:窒素三フロリドは,室温および圧力で無色で無臭のガスである.分子式はNF3であり,分子重量は71.0g/molである.NF3は安定した化合物であり,金属や水などの一般的な物質と容易に反応しない..
生産:窒素三フロリドは主にアンモニア (NH3) とフッ素ガス (F2) の反応によって生成される.反応は,触媒の存在と高温で起こります他の生産方法は,窒素ガス (N2) をフッ素と反応させたり,窒素酸化物化合物を直接フッ素化させたりする.
応用:窒素三フッ化物は,いくつかの産業用用途があります.
半導体産業:NF3は,半導体製造産業で,プロセス機器から酸化チリウムおよび他の汚染物質を除去するための清掃剤として広く使用されています.これは,プラズマエッチングプロセスで残留シリコンベースのフィルムを除去するのに特に効果的です..
LCDと薄膜太陽光パネルの製造:窒素三フッ化物は液晶ディスプレイ (LCD) パネルと薄膜太陽光パネルの製造に使用されます.汚れを除去し,表面やフィルムの質を確保するために清掃ガスとして使用されます..
化学工業:NF3は,有機フッ素化合物の合成などの様々な化学反応においてフッ素化剤として使用される.
環境への影響:窒素三フッ化物は,強力な温室効果ガスと考えられています.高温度の地球温暖化潜在力 (GWP) と長い大気寿命があります.NF3の排出量は,産業における使用拡大により増加していますNF3の排出量を削減し,処理と廃棄を改善するために努力しています.
安全性: 窒素三フッ化物は 有毒で腐食性の高いガスで,注意深く取り扱い,適切な安全対策を講じなければならない.適切な保護装置と換気システムの使用を含む.. NF3は直接接触または吸入すると目,皮膚,呼吸器系に重篤な火傷を引き起こす可能性があります.
基本情報
輸送パッケージ: | 47L 440L | 溶融点 | -206.79°C |
商標: | CMC | 沸点 | -129.0°C |
仕様 | 99.99%,99.996% | 生産能力 | 5000 m3/年 |
シリンダー圧 | 15MPa/20MPa | バルブ | ディス640 |
外見 | 色 や 匂い が ない | 密度 | 2.96kg/m3 |
仕様:
仕様 | 会社基準 |
NF3 | ≥99.996% |
CF4 | ≤20ppm |
N2 | ≤5ppm |
O2+AR | ≤3ppm |
CO | ≤1ppm |
CO2 | ≤0.5ppm |
N2O | ≤1ppm |
SF6 | ≤2ppm |
湿度 | ≤1ppm |
HF として表す | ≤1ppm |
詳細な写真