MOQ: | 1kg |
価格: | US $60/kg |
標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
配達期間: | 15日 |
支払方法: | L/C,T/T |
供給能力: | 20000トン/年 |
窒素三フッ化物 (NF3) は,窒素原子1個とフッ素原子3個からなる化学化合物である.色のない無臭ガスで,分子式はNF3である.窒素三酸化物 に 関する 重要な 点 は 次 の よう です.:
生産:NF3は,アンモニア (NH3) とフッ素ガス (F2) の反応によって生成される.反応は,アルミニウムやシリコン酸などの触媒の存在下で通常行われる.高温で.
属性:NF3は室温および圧力で安定したガスである.沸点 -129 °C (-204 °F) と溶点 -206 °C (-339 °F) である.ガスには炎症性がない.しかし,それは燃焼をサポートすることができますNF3は水といくつかの有機溶媒に溶ける.
用途:窒素三フッ化物の主要用途は,半導体産業における薄膜堆積物除去のための清掃剤である.化学蒸気堆積室 (CVD) のような設備を清掃するために一般的に使用されますNF3は,このアプリケーションでは,高エッチ選択性とシリコンとの低反応性により好ましい.
環境への影響:NF3は,高温度の温室効果ガスである.その温室効果ガスは,100年以内に二酸化炭素 (CO2) の約17,200倍である.他の温室効果ガスと比較して比較的低濃度ですが,その長い大気の寿命が地球温暖化への大きな影響に貢献します.
安全 に 関する 考え方: 窒素 三 フロリド は,誤り に 処理 さ れ たり 大量 に 放出 さ れ たり する と 危険 です.酸化 剤 で,減量 剤 や 燃焼 可能な 物質 と 激しい 反応 を 起こす こと が あり ます.NF3 ガス は 呼吸器系 に も 刺激 作用 を 及ぼし,目 や 皮膚 に 刺激 を 引き起こす こと が でき ますNF3 と 作業する際 に 十分な 換気 と 個人 保護 装備 を 含め,適切な 安全 予防 措置 を 遵守 し なけれ ば なら ない.
わかった
基本情報
分子重量 | 147.05 | 密度 | 2.96Kg/m3 |
溶融点 | -206.79°C | 沸点 | -129.0°C |
外見 | 色も匂いもない | 違う | 2451 |
DOTクラス | 2.2と51 | バルブ | ディス640 |
シリンダー規格 | GB/ISO/DOT | シリンダー圧 | 15Mpa/20Mpa |
輸送パッケージ | 47L/440L | 仕様 | 99.99%99.996% |
商標 | CMC | 原産地 | 中国 |
HSコード | 28129011 | 生産能力 | 5000トン/年 |
仕様:
仕様 | 会社基準 |
NF3 | ≥99.996% |
CF4 | ≤20ppm |
N2 | ≤5ppm |
O2+AR | ≤3ppm |
CO | ≤1ppm |
CO2 | ≤0.5ppm |
N2O | ≤1ppm |
SF6 | ≤2ppm |
湿度 | ≤1ppm |
HF として表す | ≤1ppm |
詳細な写真
MOQ: | 1kg |
価格: | US $60/kg |
標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
配達期間: | 15日 |
支払方法: | L/C,T/T |
供給能力: | 20000トン/年 |
窒素三フッ化物 (NF3) は,窒素原子1個とフッ素原子3個からなる化学化合物である.色のない無臭ガスで,分子式はNF3である.窒素三酸化物 に 関する 重要な 点 は 次 の よう です.:
生産:NF3は,アンモニア (NH3) とフッ素ガス (F2) の反応によって生成される.反応は,アルミニウムやシリコン酸などの触媒の存在下で通常行われる.高温で.
属性:NF3は室温および圧力で安定したガスである.沸点 -129 °C (-204 °F) と溶点 -206 °C (-339 °F) である.ガスには炎症性がない.しかし,それは燃焼をサポートすることができますNF3は水といくつかの有機溶媒に溶ける.
用途:窒素三フッ化物の主要用途は,半導体産業における薄膜堆積物除去のための清掃剤である.化学蒸気堆積室 (CVD) のような設備を清掃するために一般的に使用されますNF3は,このアプリケーションでは,高エッチ選択性とシリコンとの低反応性により好ましい.
環境への影響:NF3は,高温度の温室効果ガスである.その温室効果ガスは,100年以内に二酸化炭素 (CO2) の約17,200倍である.他の温室効果ガスと比較して比較的低濃度ですが,その長い大気の寿命が地球温暖化への大きな影響に貢献します.
安全 に 関する 考え方: 窒素 三 フロリド は,誤り に 処理 さ れ たり 大量 に 放出 さ れ たり する と 危険 です.酸化 剤 で,減量 剤 や 燃焼 可能な 物質 と 激しい 反応 を 起こす こと が あり ます.NF3 ガス は 呼吸器系 に も 刺激 作用 を 及ぼし,目 や 皮膚 に 刺激 を 引き起こす こと が でき ますNF3 と 作業する際 に 十分な 換気 と 個人 保護 装備 を 含め,適切な 安全 予防 措置 を 遵守 し なけれ ば なら ない.
わかった
基本情報
分子重量 | 147.05 | 密度 | 2.96Kg/m3 |
溶融点 | -206.79°C | 沸点 | -129.0°C |
外見 | 色も匂いもない | 違う | 2451 |
DOTクラス | 2.2と51 | バルブ | ディス640 |
シリンダー規格 | GB/ISO/DOT | シリンダー圧 | 15Mpa/20Mpa |
輸送パッケージ | 47L/440L | 仕様 | 99.99%99.996% |
商標 | CMC | 原産地 | 中国 |
HSコード | 28129011 | 生産能力 | 5000トン/年 |
仕様:
仕様 | 会社基準 |
NF3 | ≥99.996% |
CF4 | ≤20ppm |
N2 | ≤5ppm |
O2+AR | ≤3ppm |
CO | ≤1ppm |
CO2 | ≤0.5ppm |
N2O | ≤1ppm |
SF6 | ≤2ppm |
湿度 | ≤1ppm |
HF として表す | ≤1ppm |
詳細な写真