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| MOQ: | 1kg |
| 価格: | US $50/kg |
| 標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
| 配達期間: | 15 日 |
| 支払方法: | L/C,T/T |
| 供給能力: | 5000kg/月 |
窒素三フッ化物 (NF3) は,窒素原子1個とフッ素原子3個からなる化学化合物である.色のない無臭ガスで,分子式はNF3である.窒素三酸化物 に 関する 重要な 点 は 次 の よう です.:
1製造:窒素三フッ化物は主に,制御された条件下で,アンモニア (NH3) とフッ素ガス (F2) の反応によって生成される.反応は外熱性で,通常触媒の存在下で発生する..
2物理特性:NF3は室温および圧力で安定した燃えないガスである.沸点は−129.1°C (−204.4°F),溶解点は−206.8°C (−340.2°F).ガス は 空気 より 密度 が 高く,濃度 が 高かった 場合,甘い 臭い が ある.
3応用:窒素三フローライドは,以下を含むいくつかの産業用用途があります.
- 半導体製造:NF3は,集積回路や薄膜トランジスタの製造中に,シリコンウエファの表面から不純物を除去するための清掃剤として電子業界で広く使用されています..
- プラズマエッチング:マイクロ電子機器の製造においてプラズマエッチング剤として使用されます.簡単に除去できる揮発性製品を作るため.
- フラットパネルディスプレイ製造: NF3は,液晶ディスプレイ (LCD) やプラズマディスプレイの製造に使用され,ガラス表面を清掃し,エッチします.
- 太陽光パネル製造:薄膜太陽光パネルの製造に使用され,パネル表面から汚れや残留物を除去するのに役立ちます.
4環境への影響:窒素トリフローライドは高温室効果ガスで,地球温暖化の可能性が高い.大気中での寿命は長 (約550年) で,二酸化炭素 (CO2) よりGWPが著しく高いと推定されていますNF3が大気中に放出されれば 気候変動に寄与する可能性があります
5安全性考慮事項:NF3は一般的に無毒と考えられるが,高濃度では窒息の危険性があり,酸素を置き換える.また強力な酸化剤であり,燃焼をサポートすることができます.適切な処理窒素三フロリードと作業する際には,貯蔵と換気対策を遵守する必要があります.
基本情報
| 輸送パッケージ: | 47L 440L | 溶融点 | -206.79°C |
| 商標: | CMC | 沸点 | -129.0°C |
| 仕様 | 99.99%,99.996% | 生産能力 | 5000 m3/年 |
| シリンダー圧 | 15MPa/20MPa | バルブ | ディス640 |
| 外見 | 色 や 匂い が ない | 密度 | 2.96kg/m3 |
仕様:
| 仕様 | 会社基準 |
| NF3 | ≥99.996% |
| CF4 | ≤20ppm |
| N2 | ≤5ppm |
| O2+AR | ≤3ppm |
| CO | ≤1ppm |
| CO2 | ≤0.5ppm |
| N2O | ≤1ppm |
| SF6 | ≤2ppm |
| 湿度 | ≤1ppm |
| HF として表す | ≤1ppm |
詳細な写真
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| MOQ: | 1kg |
| 価格: | US $50/kg |
| 標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
| 配達期間: | 15 日 |
| 支払方法: | L/C,T/T |
| 供給能力: | 5000kg/月 |
窒素三フッ化物 (NF3) は,窒素原子1個とフッ素原子3個からなる化学化合物である.色のない無臭ガスで,分子式はNF3である.窒素三酸化物 に 関する 重要な 点 は 次 の よう です.:
1製造:窒素三フッ化物は主に,制御された条件下で,アンモニア (NH3) とフッ素ガス (F2) の反応によって生成される.反応は外熱性で,通常触媒の存在下で発生する..
2物理特性:NF3は室温および圧力で安定した燃えないガスである.沸点は−129.1°C (−204.4°F),溶解点は−206.8°C (−340.2°F).ガス は 空気 より 密度 が 高く,濃度 が 高かった 場合,甘い 臭い が ある.
3応用:窒素三フローライドは,以下を含むいくつかの産業用用途があります.
- 半導体製造:NF3は,集積回路や薄膜トランジスタの製造中に,シリコンウエファの表面から不純物を除去するための清掃剤として電子業界で広く使用されています..
- プラズマエッチング:マイクロ電子機器の製造においてプラズマエッチング剤として使用されます.簡単に除去できる揮発性製品を作るため.
- フラットパネルディスプレイ製造: NF3は,液晶ディスプレイ (LCD) やプラズマディスプレイの製造に使用され,ガラス表面を清掃し,エッチします.
- 太陽光パネル製造:薄膜太陽光パネルの製造に使用され,パネル表面から汚れや残留物を除去するのに役立ちます.
4環境への影響:窒素トリフローライドは高温室効果ガスで,地球温暖化の可能性が高い.大気中での寿命は長 (約550年) で,二酸化炭素 (CO2) よりGWPが著しく高いと推定されていますNF3が大気中に放出されれば 気候変動に寄与する可能性があります
5安全性考慮事項:NF3は一般的に無毒と考えられるが,高濃度では窒息の危険性があり,酸素を置き換える.また強力な酸化剤であり,燃焼をサポートすることができます.適切な処理窒素三フロリードと作業する際には,貯蔵と換気対策を遵守する必要があります.
基本情報
| 輸送パッケージ: | 47L 440L | 溶融点 | -206.79°C |
| 商標: | CMC | 沸点 | -129.0°C |
| 仕様 | 99.99%,99.996% | 生産能力 | 5000 m3/年 |
| シリンダー圧 | 15MPa/20MPa | バルブ | ディス640 |
| 外見 | 色 や 匂い が ない | 密度 | 2.96kg/m3 |
仕様:
| 仕様 | 会社基準 |
| NF3 | ≥99.996% |
| CF4 | ≤20ppm |
| N2 | ≤5ppm |
| O2+AR | ≤3ppm |
| CO | ≤1ppm |
| CO2 | ≤0.5ppm |
| N2O | ≤1ppm |
| SF6 | ≤2ppm |
| 湿度 | ≤1ppm |
| HF として表す | ≤1ppm |
詳細な写真
