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| MOQ: | 1本 |
| 価格: | US $ 15/PC |
| 標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
| 配達期間: | 15 日 |
| 支払方法: | L/C,T/T |
| 供給能力: | 年間200トン |
タングメンヘクサフロリド (WF6) は,タングメン原子1個とフッ素原子6個からなる化学化合物.色のない腐食性のあるガスで,鋭い臭いがする.タンブランヘクサフローライドは,非常に反応性があり,水や空気中の湿度と激しく反応する可能性があります.毒性のあるフッ化水素ガスを放出します
ワルフスタンヘクサフロਰਾਈドの用途には,半導体製造プロセスにおけるワルフスタンフィルムの堆積のための前駆物としての使用が含まれます.化学蒸気堆積 (CVD) 技術では,様々な用途のための薄膜のウルフスタンを作成するために一般的に使用されていますタングステンヘクサフッロイドは,高蒸気圧により,効率的な堆積を可能にするため,これらのプロセスで好ましい.
適切な安全対策は,安全性や安全性について注意する必要があります.適切な保護装置の使用と処理手順を含む.この化合物を使用する際には注意する必要があります.
| 試験用品 | 単位 | 品質要件 | 試験結果 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | <1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| アール | ppb | ≤10 | <0.020 |
| そのように | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B について | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA について | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| C.C. | ppb | ≤10 | <0.020 |
| フェ | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| ミニ | ppb | ≤10 | <0.001 |
| ほら | ppb | ≤5 | <0.040 |
| ほら | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| ティ | ppb | ≤10 | <0.002 |
| リー | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| そうだ | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| 塩分 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| ニ | ppb | ≤20 | <0.030 |
| クー | ppb | ≤5 | <0.005 |
| モー | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 他の金属の不純物総量 | ppb | ≤500 | <0.0010 |
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| MOQ: | 1本 |
| 価格: | US $ 15/PC |
| 標準パッケージ: | シリンダー/タンク |
| 配達期間: | 15 日 |
| 支払方法: | L/C,T/T |
| 供給能力: | 年間200トン |
タングメンヘクサフロリド (WF6) は,タングメン原子1個とフッ素原子6個からなる化学化合物.色のない腐食性のあるガスで,鋭い臭いがする.タンブランヘクサフローライドは,非常に反応性があり,水や空気中の湿度と激しく反応する可能性があります.毒性のあるフッ化水素ガスを放出します
ワルフスタンヘクサフロਰਾਈドの用途には,半導体製造プロセスにおけるワルフスタンフィルムの堆積のための前駆物としての使用が含まれます.化学蒸気堆積 (CVD) 技術では,様々な用途のための薄膜のウルフスタンを作成するために一般的に使用されていますタングステンヘクサフッロイドは,高蒸気圧により,効率的な堆積を可能にするため,これらのプロセスで好ましい.
適切な安全対策は,安全性や安全性について注意する必要があります.適切な保護装置の使用と処理手順を含む.この化合物を使用する際には注意する必要があります.
| 試験用品 | 単位 | 品質要件 | 試験結果 |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| O2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | <1 | 0.03 |
| CO | ppm | <0.5 | <0.02 |
| CO2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | <5 | 0.19 |
| アール | ppb | ≤10 | <0.020 |
| そのように | ppb | ≤10 | <0.001 |
| B について | ppb | ≤10 | <0.005 |
| CA について | ppb | ≤5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤2 | <0.001 |
| C.C. | ppb | ≤10 | <0.020 |
| フェ | ppb | ≤10 | <0.007 |
| K | ppb | ≤5 | <0.100 |
| ミニ | ppb | ≤10 | <0.001 |
| ほら | ppb | ≤5 | <0.040 |
| ほら | ppb | ≤0.1 | <0.001 |
| ティ | ppb | ≤10 | <0.002 |
| リー | ppb | ≤10 | <0.002 |
| U | ppb | ≤0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0.005 |
| そうだ | ppb | ≤10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤10 | <0.001 |
| P | ppb | ≤2 | <0.300 |
| 塩分 | ppb | ≤10 | <0.020 |
| ニ | ppb | ≤20 | <0.030 |
| クー | ppb | ≤5 | <0.005 |
| モー | ppb | ≤10 | <0.001 |
| 他の金属の不純物総量 | ppb | ≤500 | <0.0010 |
